Описание на продуктите
При отдалечени условия силициевият прах може да бъде напълно антриран в процеса на SHS, за да се генерираСиликонов нитрид, и продуктът има високо съдържание на азот и ниско съдържание на кислород, но е фаза. В реакцията на силициев дим shs се добавя подходящо количество si _3 n _4 семе; Скоростта на разпространение на SHS горене на силиций се увеличава с увеличаването на азотното налягане и намаляването на плътността на запълване на реагентите, но тя е независима от състава на реагента и диаметъра на пробата. Температурата на вълната на горенето се повишава с увеличаването на налягането на азот и увеличаването на диаметъра на пробата, което не зависи от състава на реагентите и плътността на пълнене.
Параметри на продуктите
| Оценка | N | Si | Ca min | O min | Al min | C | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.25 | 0.3 | 0.25 |
Снимка на продукти за сътрудничество на продукти
1.Силиконов нитридФилмите се приготвят чрез използване на технологията за отлагане на плазмени химически пари (PECVD) при различни условия на отлагане (температурен диапазон на субстрата от 20 ~ 180 градуса и RF мощност 10 ~ 30W) и се изследват ефектите от условията на отлагане върху свойствата и водоустойчивите свойства на силиконовите нитридни филми. Експерименталните резултати показват, че с повишаването на температурата на субстрата плътността, коефициентът на пречупване и съотношението SI/N на филмите за силициев нитрид се увеличават съответно, докато скоростта на отлагане и H съдържание съответно намаляват. С увеличаването на RF мощността скоростта на отлагане, плътността, коефициентът на пречупване и съотношението Si/N на филмите за силициев нитрид се увеличават съответно, докато съдържанието на Н съответно намалява. Експериментът за проникване на водна пара показва, че дори ако температурата на субстрата е намалена до 50 градуса, отложен силиконов нитрид филм все още има добри водоустойчиви характеристики. Експерименталните резултати показват, че нискотемпературните силиконови нитридни филми могат да бъдат ефективно приложени за опаковането на органични устройства за излъчване на светлина (OLED).
Популярни тагове: Силиконов нитрид на високо ниво, производители на силициев нитрид на високо ниво, доставчици, фабрика